半导体气体传感器

对于半导体气体传感器，根据半导体与气体之间的相互作用是在其表面还是在内部，可分为表面控制型和体控型;根据半导体的物理性质变化，它可分为电阻型和非电阻型。两种类型。
电阻半导体气体传感器通过在气体与气体接触时改变半导体的电阻来检测气体的成分或浓度。非电阻半导体气体传感器根据气体的吸附和反应改变半导体的一些特性。
直接或间接测试气体。半导体气体传感器通过利用半导体表面上的气体的氧化还原反应来制造，以引起敏感元件的结构的变化。
当半导体器件被加热到稳定状态时，当气体被吸附在半导体表面上并被吸附时，吸附的分子首先在物体表面上自由扩散，失去运动能量，一些分子蒸发，另一个部分残留分子被热分解并吸附在物体上。表面。
当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力时，吸附的分子将电子带离器件并变成负离子，并且半导体的表面将呈现电荷层。例如，氧气，即具有吸附负离子倾向的气体，被称为氧化气体。
如果半导体的功函数大于吸附分子的解离能，则吸附的分子将向器件释放电子并形成正离子吸附。具有吸附正离子倾向的气体包括氢气，一氧化碳等，它们被称为还原气体。
当氧化气体被吸附到N型半导体并且还原气体被吸附到P型半导体上时，半导体载流子减少并且电阻增加。当还原气体吸附到N型半导体上并且氧化气体吸附到P型半导体上时，载流子增加并且半导体电阻降低。
非电阻式气体传感器也是半导体气体传感器之一。它是通过利用诸如MOS二极管的电容 - 电压特性的变化和MOS场效应晶体管的阈值电压变化的特性而制成的气体传感器。
由于这种传感器的成熟制造工艺和设备的集成，性能稳定且廉价。特定材料的使用也使传感器对某些气体特别敏感。