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ASML高管访问三星,讨论EUV光刻设备供应与开发合作

据韩国媒体businesskorea称,三星电子正在寻求加强与荷兰半导体设备制造商ASML的技术和投资合作。上周,包括首席执行官Peter Burnink在内的ASML高管访问了三星电子的半导体工厂,并讨论了EUV光刻设备供应和开发方面的合作。 ASML官员与三星电子副董事长金金南(Kim Kim Nam)和三星其他重要高管举行了会谈。三星电子副董事长李在Ja没有出席会议。业内人士认为,三星电子需要提供更多的EUV光刻设备,并讨论了两家公司在开发下一代EUV光刻设备方面的合作。 IT House获悉,三星需要更多的EUV光刻设备来扩大其在全球晶圆代工市场的份额。但是,作为世界上唯一的EUV光刻设备制造商,ASML向全球最大的代工公司台积电提供的设备比向三星电子提供的设备更多。三星电子希望与ASML建立技术联盟,以确保扩大下一代EUV光刻设备的供应。在ASML中,由于下一代EUV设备的开发需要大规模投资,因此有必要与三星进行投资合作。三星希望投资开发高数值孔径(High-Na)EUV设备,以提高半导体微加工所需的电路分辨率。设备价格预计将达到每台5,000亿韩元(约合人民币29,662百万元),是当前EUV设备价格的2-3倍。 ASML计划在2023年中期推出该设备的原型。三星电子希望在台积电之前获得ASML设备,以取得技术领先地位。但是,三星官方表示,会议上没有做出具体的投资决定。他说,ASML的高管访问了三星电子,以回应副主席李加勇10月份对ASML总部的访问。 ASML的高管还会见了SKHynix总裁李希希。据报道,他们讨论了如何扩大EUV设备的供应并促进合作。